[转让] 一种基于双材料效应的微机械红外探测器阵列的制作方法

本发明涉及一种新的基于双材料效应的微机械红外探测器阵列的制作方法，其特征在于采用硅作为牺牲层，采用SiO<Sub>2</Sub>、SiN<Sub>x</Sub>、SiC、Au、Al及Cr等XeF<Sub>2</Sub>气体几乎不腐蚀的材料来制作像素的双材料支撑梁和红外敏感部分，采用SiO<Sub>2</Sub>、SiN<Sub>x</Sub>、SiC、Au、Al及Cr等XeF<Sub>2</Sub>气体几乎不腐蚀的材料制作锚或对锚进行保护，最后采用XeF<Sub>2</Sub>气体腐蚀硅牺牲层释放像素。本发明具有以下积极效果和优点：一方面采用干法释放，避免湿法释放过程对像素结构的破坏；另一方面，降低了制作成本且与IC工艺相兼容。

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