[转让] 一种带防液滴喷溅格栅的热蒸发装置

一种带防液滴喷溅格栅的热蒸发装置，包括：蒸发材料；坩埚，所述坩埚容纳待加热的所述蒸发材料；喷管，所述喷管与坩埚的顶端端口相通；格栅，所述格栅放置在坩埚内壁，且位于蒸发材料上方，所述格栅具有阻挡喷溅液滴直线运动至喷管的倾斜挡板。所述格栅还包括支撑框架，所述支撑框架的外壁与所述坩埚内壁紧密贴合，且形状相同。在热蒸发镀膜工艺中，格栅可顺利通过蒸气，且阻挡大部分喷溅液滴，有效减少喷溅液滴到达镀膜表面，提高镀膜材料的厚度均匀性和化学组分一致性，提高镀膜工艺的良品率。

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