[转让] 微机械碳纳米管场发射型非致冷热成像器件及制作方法

本发明涉及一种新颖的微机械碳纳米管场发射型非致冷热成像器件及制作方法，属于微电子机械系统领域。该器件由红外光学系统、衬底(1)，m×n的像素陈列(15)，荧光屏(14)以及偏置电路(16)等组成。其特征在于采用微机械技术制作双材料梁(膜)作为栅极，在催化剂上定向生长的碳纳米管作为场发射源。其制作特征在于：选择合适的衬底材料，制作牺牲层及锚区，淀积双层材料，刻蚀出栅孔，并在栅孔下制作催化剂材料，在催化剂材料材料上定向生长碳纳米管，去掉牺牲层材料释放双材料梁(膜)，随后封接荧光屏，实现对m×n的像素阵列的真空封装。最后连接偏置电路及其它校准电路，装配红外光学系统，形成微机械碳纳米管场发射型非致冷热成像器件。

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